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8XH高精度メディア分離型圧力センサの概要
Mouser Electronicsは、TE Connectivityが展開するMeasurement Specialtiesブランドの「8XH高精度メディア分離型圧力センサ」の取り扱いを開始したと発表しました。本製品は高い精度と信頼性を備えており、フィールドキャリブレーション（現地での校正作業）を行うことなく、システムレベルで高精度な測定を実現します。
主な用途として、半導体製造装置やプロセスオートメーション、医療機器、OEM機器、IoTシステム、分析機器などが挙げられています。過酷な環境下でも安定した性能を発揮するよう設計されているとのことです。
Ms.ガジェット産業機器向けの高精度センサが新たに取り扱い開始となりました。フィールドキャリブレーション不要というのは、導入時の工数削減にもつながりそうですね。
製品の技術的特徴と設計
8XH高精度メディア分離型圧力センサは、MEMS（微小電気機械システム）ダイ、ASIC（特定用途向け集積回路）、および受動部品を、オイル充填された媒体分離構造に封入した設計を採用しています。
本製品の主な技術的利点は以下の通りです。
- MEMSダイのブリッジ抵抗を利用し、同一環境下で温度と圧力を同時に測定可能
- 温度補償に必要な高精度の温度データを取得できる
- 優れた初期精度と高いEMC（電磁両立性）性能を実現
- 316Lステンレス鋼を採用し、腐食性ガスや化学薬品に対する高い耐性を備える
また、82H、85H、85FH、86Hの各モデルがラインアップされており、デジタル出力モードでは圧力と温度のデータを同時に出力できる仕様となっています。
Ms.ガジェットステンレス鋼を採用している点は、腐食性の高いプロセスを扱う現場において心強い仕様と言えます。
仕様と取り付け方式
本製品は工場出荷時に校正済みとなっており、5psiから1500psiの範囲でゲージ圧、真空ゲージ圧、および絶対圧の測定に対応しています。また、増幅アナログ出力とデジタル出力の両方をサポートしている点も特徴です。
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| デジタル通信 | I²Cプロトコル |
| モジュール径 | 13mm / 16mm / 19mm |
| 補償温度範囲 | -20℃～+85℃ |
| 規格準拠 | RoHS指令 |
取り付け方式については、溶接取り付け方式またはOリング取り付け方式のいずれかを選択可能です。設計環境や用途に合わせて柔軟な構成が可能となっています。
Ms.ガジェット出力方式の選択肢や取り付け方法が選べるのは、設計者にとって非常に利便性が高いポイントですね。
マウザー、TE Connectivityの8XH高精度圧力センサの取り扱い
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