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液体窒素不要で24時間安定稼働を実現
浜松ホトニクス株式会社は、先端ロジックデバイスや高密度メモリデバイスの故障解析に用いる発光解析用カメラ「Solid Cold(R) Emmi-X カメラ」を開発し、2026年7月7日より受注を開始しました。本製品は、同社独自の「Solid Cold冷却（リニア冷却方式）」を採用しています。
これまで主流であったLN2（液体窒素）冷却システムと比較して、より高い安定性と優れたメンテナンス性を備えているのが特徴です。MTTF（平均故障時間）は90,000時間の高信頼設計となっており、非接触かつ24時間の連続駆動を可能にしています。
Ms.ガジェット液体窒素の補給が不要になることで、解析現場の運用負荷が大幅に軽減されそうですね。
広視野観察と高速な波長切り替え
本製品は、広視野かつ高S/N（Signal-to-Noise：信号対雑音比）のセンサを搭載しており、微弱な発光を高感度に検出できます。1k×1kピクセルのセンサにより、広い範囲の観察が可能です。
また、高速波長切り替え機構を備えており、わずか5秒で波長を切り替えることができます。1軸フィルタとギアレス構造を採用したことで、高い位置精度を実現しているとのことです。
Ms.ガジェットわずか5秒での波長切り替えは、解析効率の向上に大きく貢献しそうです。
主な製品仕様と販売情報
本製品の主な特長は以下の通りです。
- Solid Cold冷却による24時間連続駆動
- 1k×1kセンサによる広視野観察
- 特許出願技術によるノイズ低減
- わずか5秒での高速波長切り替え
販売価格は1式あたり1.3億円（税抜）となっており、国内外の半導体メーカーや製造装置メーカーを対象に販売が行われます。なお、本製品は同社の倒立型エミッション顕微鏡に搭載して使用することが可能です。
Ms.ガジェット先端半導体の開発現場において、解析の稼働率向上を支える重要なコンポーネントと言えます。
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