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業界最高水準の測定精度を実現した新シリーズ
ミネベアミツミグループのミツミ電機が、小型熱式フローセンサ（空気の流れを計測するセンサ）である「MMS651シリーズ」の販売を開始しました。本製品はMEMS（微小電気機械システム）技術を活用しており、業界最高水準の測定精度を達成しています。
近年、データセンターのサーバー冷却やスマートビルの空調管理、クリーンルームのファンフィルターユニットなどにおいて、厳密な風量管理のニーズが高まっています。今回発表されたシリーズは、こうした産業現場における省エネと効率化を支えるためのソリューションとして位置付けられています。
Ms.ガジェットMEMS技術を用いた高精度なセンサは、近年のデータセンターや空調管理の現場で非常に重宝されそうですね。
設置自由度を高める小型設計とデジタル出力
本シリーズの大きな特徴は、22.5×21×7mmという業界最小クラスの小型パッケージを採用している点です。コネクタ接続に対応しているため、専用の基板や複雑な配管を準備することなく、ダクトや筐体へ容易に設置・配線ができる設計となっています。
また、インターフェースにはI2C（集積回路間通信）を採用しています。センサ内部で温度補正やリニアリティ補正といった高度な演算を完結させ、風速値を直接デジタル出力できるため、システム側のマイコン負荷を軽減し、開発期間の短縮にも寄与するとのことです。
Ms.ガジェットデジタル出力に対応している点は、システム構築を行うエンジニアにとって非常に大きなメリットと言えます。
用途に合わせて選べる2種類のラインナップ
「MMS651シリーズ」には、測定範囲の異なる2つのモデルが用意されています。用途に応じた最適な選択が可能です。
- MMS651P003N1：クリーンルームのダウンフローなど微風計測に適した3m/sタイプ
- MMS651P010N1：空調ダクトやファン制御など広範な用途に対応する10m/sタイプ
| 項目 | MMS651P010N1 | MMS651P003N1 |
|---|---|---|
| 測定範囲 | 0〜10 m/s | 0〜3 m/s |
| 応答速度 | 90 ms未満 | 90 ms未満 |
| インターフェース | I2C | I2C |
| サイズ | 22.5×21×7 mm | 22.5×21×7 mm |
なお、センサ内部にはメイン流路と測定用の流路を分けた独自の構造を採用しています。これにより、MEMSチップへの埃の侵入を低減し、長期的な信頼性を確保する仕組みとなっています。
Ms.ガジェット独自構造による埃対策など、長期的な信頼性を重視した設計がなされている点は注目すべきポイントです。
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