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顕微鏡学の発展を支えた歴史的技術
公益社団法人日本顕微鏡学会は、顕微鏡学の発展に多大な貢献をした技術や製品を文化遺産として後世に伝えるため、「顕微鏡遺産」という認定制度を設けています。今回、日本電子が開発した走査電子顕微鏡（SEM）の初期モデルであるJSM-1型とJSM-2型が、この認定制度において第25号として選出されました。
この制度は、顕微鏡技術の歴史的意義を再評価することを目的としています。日本電子は2024年にも、磁界型電子顕微鏡「DA-1型」やスーパースコープ「JEM-50B型」で同認定を受けており、今回の選出は同社の技術開発が長年にわたり産業界で高く評価されていることを示しています。
Ms.ガジェット長年にわたる研究開発の積み重ねが、このような形で顕微鏡遺産として認められるのは素晴らしいことですね。
当時の最先端を切り拓いたJSMシリーズ
日本電子が1966年に発表したJSM-1型は、国産初の走査電子顕微鏡の商品機として開発されました。世界初の製品化からわずか半年後の登場であり、50nm（ナノメートル）の分解能を実現していました。
さらに、翌1967年に発売されたJSM-2型は、分解能を25nmまで向上させています。主な特徴は以下の通りです。
- Everhart-Thornley（ET）検出器による二次電子像の観察
- 半導体検出器を用いた反射電子像の取得
- EBIC像（電子線誘起電流像）の観察に対応
- 透過電子像、カソードルミネッセンス像、X線像の撮影が可能
Ms.ガジェット当時の技術でこれほど多彩な像の観察に対応していた点は、現在の走査電子顕微鏡の構成にも通じるものがありますね。
工業国日本を世界へ知らしめた技術的功績
JSM-1型およびJSM-2型は、研究開発のみならず、材料系、半導体、バイオ系といった幅広い産業分野で使用されました。当時、海外では日本製品に対して「低価格・低品質」というイメージが持たれることもありましたが、これらの装置は国内外で広く採用され、日本の工業技術の高さを世界に示す役割を果たしたとされています。
なお、開発に携わった紀本静雄氏、橋本寛氏、佐藤正幸氏、江口英郎氏の4名は、1971年に日本顕微鏡学会の第16回瀬藤賞を受賞しています。日本の走査電子顕微鏡開発の先駆けとして、その歴史的価値は今なお高く評価されています。
Ms.ガジェット世界市場で日本の評価を塗り替える一翼を担った装置として、当時の開発者たちの技術的志の高さが感じられます。
JSM-1型
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