ウシオ、LED光源を搭載したウェハ向け一括投影露光装置を受注開始

LED光源の搭載で高スループットを実現

ウシオ電機が発表した「UX-44101SCB」および「UX-45114SCB」は、同社の主力である一括投影方式の露光装置UX-4シリーズの新製品です。これまで露光装置の光源として一般的だった水銀ランプと同等の照度を達成した、新開発のLED光源ユニットが搭載されています。

半導体業界で環境規制が強化される中、露光装置のLED化が求められてきました。この新製品は、従来の水銀ランプと同等の高スループット（単位時間あたりの処理能力）を実現しているため、高い露光量を必要とする工程でも作業効率を維持できるとのことです。

次世代デバイス製造の課題を解決

本製品は、IoTや5G、モビリティ分野などで必要とされる次世代電子デバイスの製造に適した設計となっています。特にウェハの大型化や高精度化に伴い、高い露光量が求められる以下の工程に対応しています。

• Bump（バンプ：半導体チップの電極部分に形成する金属端子）の形成工程
• WLP（ウェハレベルパッケージング：ウェハ状態で一括封止や端子形成を行う工程）

また、LED光源の採用により、従来の水銀ランプと比較して露光時の瞬時点灯・消灯が可能となりました。これにより光源の長寿命化が図られ、装置導入後のランニングコストを大幅に削減できる見込みです。

UX-4シリーズの主な特徴と仕様

UX-4シリーズは、パワー半導体やMEMS（微小電気機械システム）、通信・光電融合関連デバイスの生産において、長年の導入実績を有しています。新モデルでもこれまでの利便性を引き継いでいます。

項目	仕様・特徴
方式	一括投影露光
生産性	120WPH以上
対応機能	3D表面形状への露光、厚膜レジスト露光
自動化	インライン、オンライン、OHT・AGV対応
光源	水銀レス LED光源

なお、本製品は自動化ラインへの対応も強化されており、インラインやオンライン、搬送ロボットであるOHT（オーバーヘッドホイストトランスポート）やAGV（無人搬送車）への対応が可能です。マスクダメージレスな一括投影方式により、高精細な露光処理が期待されています。

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