ボールウェーブの水分計、台湾半導体メーカーに認定

ボールウェーブのオンライン微量水分計が台湾で認定

ボールウェーブは、最先端の半導体製造企業からの要望に応える形で、オンライン微量水分計「FT-450WT」を開発しました。AccuDEVICE/Tronic Purityと協力し、2024年10月から台湾の顧客工場で検証を実施していました。

その結果、FT-450WTは世界初の特殊ガス供給システム向けオンライン微量水分計として認定されるに至りました。ボールウェーブは、この成果を「東北大学発スタートアップとしてこの上ない喜び」と表現しています。

FT-450WTの特長

高感度・高速応答

FT-450WTは、ボールSAW（弾性表面波）センサを搭載しています。このセンサは、工業用ガスや天然ガスに含まれる水分子を、非常に高い精度で測定できます。応答速度が速く、水分量の変化をリアルタイムでモニターすることが可能です。

二種類の測定に対応

FT-450WTは、水分量とバックグランドガス組成分析の2つの項目を同時に測定できます。これにより、より詳細なガス分析が可能になります。気体中の水分濃度を1ppbv（10億分の１）レベルまで正確に測定することが可能です。

装置組み込みを重視した設計

上位機種であるFT-450WTは、高速応答性を維持しつつ、装置への組み込みやすさを追求しています。センサーユニットと本体を分離することで、設置場所の自由度を高めています。

Ms.ガジェット

今回の認定は、FT-450WTの性能と信頼性を裏付けています。半導体製造における品質管理の重要性が高まる中、今後の展開が期待されますね！

ボールウェーブについて

ボールウェーブ株式会社は、東北大学発のベンチャー企業です。ボールSAWセンサを用いた微量水分や多種類のガスを高速・高感度にセンシングする技術を開発しています。

この技術は、安全、安心、クリーンで持続可能な社会の実現に貢献することを目指しています。微量水分計やガスクロマトグラフなどの開発、製造、販売を行っています。

Ms.ガジェット

ボールウェーブは、東北大学の技術を基盤に成長を続けている企業です。今後の技術革新にも注目したいですね！

AccuDEVICE/Tronic Purityについて

寶系統股份有限公司（AccuDEVICE Co., Limited）/芯動能設備公司(Tronic Purity, Inc)は、台湾の新竹市に本社を置く半導体製造関連装置の技術商社です。ボールウェーブと協力して今回の検証を実施しました。

Ms.ガジェット

AccuDEVICE/Tronic Purityは、台湾の半導体産業において重要な役割を担っている企業です。今回の協力により、ボールウェーブの技術が台湾の半導体市場に浸透するきっかけとなるかもしれません。

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