リガルジョイント、約80種の薬液に対応した流量計「マルチフローR」を発表

液温変化に対応する高精度な流量計測

半導体製造装置や薬液供給設備では、液温の変化による粘度の変動が流量計測の精度に影響を与えることが課題とされてきました。マルチフローR(TM)は、流路内に温度センサーを搭載することで、流体温度をリアルタイムで計測します。

この温度補正機能により、水温が変わった際にも流量を自動で補正することが可能です。これにより、監視やバルブの手動調整にかかる工数を削減し、安定した流量管理と品質維持を実現するとしています。

幅広い薬液に対応する接液構造

本製品は、接液部にNew PFA（フッ素樹脂の一種）のみを採用しています。この構造により、約80種類の薬液に対応しており、多様な化学プロセスでの活用が可能となっています。

製品仕様と今後の展開

製品の主な仕様は以下の通りとなっています。出力面では信号出力のほか、表示モデルには警報接点出力も搭載されています。

項目	仕様
流量精度	±2% F.S.（一部モデルは±3%）
流体温度	0〜90℃
接液材質	New PFA
接続口径	3/8インチ〜1インチ

同社によると、本製品は半導体製造装置メーカーや産業装置メーカーへの導入を予定しているとのことです。発売日は2026年6月15日を予定していますが、出荷開始は2026年夏以降となる見込みです。

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