ヌヴォトン テクノロジージャパン株式会社は、先端半導体パッケージの製造プロセスで使用されるマスクレス露光装置向けの光源ラインナップを拡充しました。新たに発表されたのは、波長402nm（ナノメートル）の紫色半導体レーザで、光出力は4.5Wとなっています。
本製品は、直径9.0mmのTO-9 CANパッケージを採用しており、同社の従来製品と比較して1.5倍の光出力を実現しているとのことです。この高出力化により、マスクレス露光装置における生産スループット（単位時間あたりの処理能力）の向上が期待されています。
Ms.ガジェット独自のデバイス構造と放熱技術による安定動作
紫色半導体レーザは、光電力変換効率が低く自己発熱が大きいことや、短波長光による素子劣化が課題とされてきました。今回の新製品では、以下の技術を導入することで、高出力と高信頼性を両立しています。
- 光電力変換効率を高める独自のデバイス構造を採用
- 熱を効率よく逃がす高放熱パッケージ技術の適用
- レーザ端面の劣化を抑制する保護膜技術の搭載
パッケージには高放熱材料を用いた一体成型構造が採用されており、高出力動作時においても安定した性能を発揮する設計となっています。
Ms.ガジェット先端半導体パッケージ市場の需要に対応
近年、AI関連などの需要拡大に伴い、先端半導体パッケージ市場ではマスクレス露光技術が注目されています。この技術は、設計データに基づいて直接回路を描画するため、コスト低減や開発期間の短縮が可能です。
同社は、2026年1月に発表したi線対応の紫外半導体レーザに加え、今回h線対応の本製品を追加することで、主要な感光材料の多くに対応可能となりました。これにより、光源選定の幅が広がり、水銀灯の代替ソリューションとしても活用できるとしています。
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 品番 | KLC434FL01WW |
| 波長 | 402nm |
| 光出力 | 4.5W |
| パッケージ | TO-9 CAN |
なお、本製品は2026年5月に量産開始が予定されています。また、2026年4月22日から24日にかけてパシフィコ横浜で開催される展示会「OPIE’26」の同社ブースにて、実物の展示が行われる予定とのことです。
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