岩崎電気、半導体製造向けの新型UV照射装置を開発

波長制御フィルターとモニタ機能を搭載

岩崎電気株式会社および岩崎電気アイグラフィックス社は、半導体の製造工程における仮固定テープ（TB/DB工程）の剥離作業を最適化する、新型のUV照射装置を開発しました。

近年の半導体製造では、チップの薄型化や積層化が進んでおり、ウェハやチップを保護する仮固定テープの重要性が高まっています。しかし、テープの種類ごとに最適な波長が異なる点や、長時間の稼働による光源の出力変化が品質のばらつきを招くことが課題となっていました。

本製品は、独自開発の波長制御フィルターと、UVモニタおよびUVフィードバックシステムを搭載しています。これにより、光源の安定性を維持し、製造ラインにおける効率的な作業を実現するとのことです。

半導体製造における主な活用工程

本装置は、主に半導体製造の薄化およびパッケージング工程において活用される設計となっています。具体的には、以下の工程での利用が想定されています。

• バックグラインド（裏面研削）工程後の剥離
• 再配線層（RDL：Redistribution Layer）形成時の支持基板からの剥離
• ダイシング工程後のフレームからの剥離

これら一連の工程において、UV照射による適切な粘着力低減を行うことで、プロセスの高精度化と高効率化に貢献するとしています。

製品スペックの概要

項目	仕様・特徴
用途	半導体仮固定テープ剥離
主な機能	波長制御フィルター、UVモニタ＆フィードバック
受注開始時期	2026年4月

岩崎電気は、これまで培ってきたランプ技術を半導体製造分野へ応用し、光ソリューションを提供しています。今後も市場の変化や顧客のニーズに対応した光技術の開発を継続する方針とのことです。

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