堀場製作所、非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」を発売

株式会社堀場アドバンスドテクノは、半導体製造プロセスで使用される薬液濃度を非接触で測定する光ファイバー式モニター「CS-900F」を2026年3月26日に発売しました。従来製品と比べてセルユニットの体積を約60％削減し、よりコンパクトな設置が可能となっています。

非接触測定でリスク低減

「CS-900F」は、配管にセルユニットを取り付けるだけで薬液を非接触で測定できる方式を採用しています。薬液とセンサーが直接接触しないため、漏れやコンタミネーションのリスクを低減します。光ファイバーケーブルでメインユニットとセルユニットを接続し、分光器を装置外のメインユニットに移設することで、セルユニットの小型化を実現しています。

安定性高い内部リファレンス機構

セルユニットには、吸光度測定における光源の揺らぎや経時変化を補正する「内部リファレンス」機構が搭載されています。これにより、振動や温度変化などの外乱影響を低減し、安定した測定精度を維持しながら装置のフットプリントを抑えることができます。

対応薬液の種類を大幅拡充

測定可能な波長域を従来比で約3倍拡張し、対応する薬液の種類を大幅に増やしました。標準的なSC-1（アンモニア過酸化水素水溶液）だけでなく、硝酸、リン酸、酢酸の混合液など、複雑かつ危険な薬液についても、前処理なしで最高80℃まで直接測定が可能です。

• 非接触測定で薬液漏れや汚染リスクを低減
• セルユニットの体積を従来比で約60％削減
• 最高80℃までの高温薬液に対応
• 硝酸・リン酸・酢酸混合液など広範な薬液で測定可能
• 内部リファレンス機構で安定した精度を維持

この製品は、半導体製造における薬液管理の精度向上と、装置設置空間の省スペース化に貢献します。

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半導体製造への貢献

半導体製造工程における薬液処理は、表面処理の均一性に影響し、製品の歩留まりを左右する重要なプロセスです。CSシリーズは1995年の発売以来、30年近くにわたり市場のニーズに寄り添い進化してきました。CS-900Fはその技術の集大成として、小型化と汎用性の両立を実現しています。

製品構成

項目	仕様
測定方式	光ファイバー式非接触測定
セルユニット体積削減	従来比約60%
対応薬液温度	最高80℃
波長範囲	従来比約3倍拡張
主な対応薬液	SC-1、硝酸、リン酸、酢酸混合液

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