マイポックス、12インチウェーハ対応のCMP加工ラインを構築
マイポックス株式会社は、12インチウェーハ対応のCMP加工ラインを構築し、本格稼働を開始しました。同社は、独自のプロセスと「接合工程」の拡充により、次世代半導体製造を支える「トータルファンドリーサービス」の提供を目指しています。

同社の強みは、「塗る」「切る」「磨く」の3つのコア技術を高度に融合させ、「研磨材(剤)開発製造」「機能性塗布」「精密研磨加工」の3事業を中心に展開している点にあります。自社開発スラリーによる最適プロセスの構築や、高度な平坦化が要求される多様な素材・案件への対応など、独自のCMPプロセスで高品質なサービスを提供します。
背景:デバイスの高性能化に伴う12インチCMP市場への対応
AI・デジタル社会の進展や次世代モビリティの普及を背景に、半導体デバイスの高性能化と製造効率の向上が求められています。マイポックスは、これまで培ってきた超精密研磨技術を基盤に、市場ニーズが極めて高い12インチウェーハのCMP領域へ本格参入し、最先端半導体の進化を支える技術基盤としての役割を担います。

今後の展望:接合工程の拡充と3次元実装への寄与
マイポックスは現在、CMP工程の次段階である12インチ対応の接合(ボンディング)体制の構築を推進しています。体制確立予定は2027年3月期(来期)中です。提供価値としては、「研磨」から「接合」までの一貫体制を構築することで、TSV(シリコン貫通電極)などを活用した次世代3次元実装への対応を可能にします。

Ms.ガジェット表面加工の力で、世界を具現化する
マイポックスは、従来の「受託研磨加工」という枠組みを超え、材料開発から精密加工、そして接合・実装支援までを網羅する「トータルファンドリーサービス」を確立してまいります。持続可能な社会の実現に向け、お客様のビジョンを「塗る・切る・磨く」の技術で具現化し、半導体産業の新たな価値創造に貢献します。

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